住友大阪セメント、静電チャック生産２倍 半導体装置向け | 日刊工業新聞 電子版

住友大阪セメントは半導体製造装置の需要拡大を受け、主要部品の静電チャック（ＥＳＣ）の生産能力を現状比２倍にする。ＥＳＣを生産する市川事業所（千葉県関連キーワードはありません